• 双向位置重复精度：±20nm~±50nm
• 有效行程：20mm~110mm
• 连续推力：20N~35N
• 最大水平/垂直负载可达：6~19kg

重复精度：±0.005°/±0.003°
有效行程：±5°～±8°
最大水平负载：5kg/6kg

• 单向位置重复精度：±50nm
• XYZ有效行程：50(110)/50/50(20)mm
• XYZ推力：26(35)/26/26N
• 最大水平负载可达：6kg/10kg

• XYZ单向位置重复精度：±50nm
• XYZ有效行程：50(110)/50(110)/20mm
• θxθyθz单向位置重复精度：±0.003~0.005°
• θxθyθz行程：5~8°
• XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
• 最大水平负载可达：6kg

• XYZ单向位置重复精度：±50nm
• XYZ有效行程：50(110)/50(110)/50mm
• θxθyθz单向位置重复精度：±0.003~0.005°
• θxθyθz行程：5~8°
• XYZ推力： 26(35)/26(35)/26N
• 最大水平负载可达：6kg