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测试老化类光路组装类半导体封装类芯片测试类高精密滑台
• 双向位置重复精度:±50nm • 有效行程:15mm~290mm • 推力:5N~145N • 最大水平负载可达:140kg • 最大速度:150~500mm/s • 最高直线精度可达:1um/50mm • 有Z轴专用产品选择
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