高精密滑台
高精度全闭环直线滑台、角滑台
产品特性
• 双向位置重复精度：±50nm
• 有效行程：15mm~290mm
• 推力：5N~145N
• 最大水平负载可达：140kg
• 最大速度：150~500mm/s
• 最高直线精度可达：1um/50mm
• 有Z轴专用产品选择
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