产品中心

首页 / 产品中心 / 高精密滑台

高精密滑台

测试老化类光路组装类半导体封装类芯片测试类高精密滑台

高精密滑台

高精度全闭环直线滑台、角滑台

产品特性

• 双向位置重复精度:±50nm
• 有效行程:15mm~290mm
• 推力:5N~145N
• 最大水平负载可达:140kg
• 最大速度:150~500mm/s
• 最高直线精度可达:1um/50mm
• 有Z轴专用产品选择

联系我们 资料下载

产品参数

深圳总部:广东省深圳市光明区裕丰达工业园3栋

前台总机:0755-23019639

咨询邮箱:laserx.xs@laserx.net