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高精密滑台

测试老化类光路组装类半导体封装类芯片测试类高精密滑台

高精密滑台

滑台组合类型6轴系列

产品特性

• XYZ单向位置重复精度:±50nm
• XYZ有效行程:50(110)/50(110)/20mm
• θxθyθz单向位置重复精度:±0.003~0.005°
• θxθyθz行程:5~8°
• XYZ推力: 26(35)/26(35)/26N
• 最大水平负载可达:6kg

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产品参数

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